Prečo sa brána použitie poly nie je kov v usporiadaní IC?

Y

yousoo

Guest
I `m štúdiu [IC rozloženie Basics] p.134 - zapojenie s poly Mám jednu otázku. Prečo sa brána použitie v poly? nie metal?
 
Ahoj, brána MOSFET použitie poly miesto kovu tak, aby štruktúra MOS je self zarovnaný. Vysvetliť, čo je samo súlade štruktúra predpokladá, že používame na výrobu kovových brán. K tomu potrebujeme najprv urobiť zdroj / vypúšťací difúzie a kovové vrstvy. Teraz na tom kovové brány nemusí byť dokonale zladené s zdrojom a odtokom diffusions av horšom prípade sa môže stať, že tak, kovové brány nemusí byť prekrývajúce sa buď v zdrojovej / odtok z dôvodu vychýlenie. To znižuje výkon MOS a myslím, že to nemusí fungovať ako jeden MOS. Takže potrebného na riešenie tohto problému, čo PPL robili bolo zvýšenie dĺžky brány a zaistiť tak, že brána bude prekrývať s zdrojom a odtokom diffusions. Teraz je táto metóda mala problém, že brána / zdroj prekrývajú kapacita bola obrovská tu majú vplyv na dizajn. Aj veľmi malé dĺžke kanála nebolo možné tu. Ak budeme používať poly potom to, čo robíme, je, že sme najprv rast poly brány oxidu kremičitého a navyše, že budeme robiť rozširovania. To zaisťuje, že poly dokonale alligned so zdrojom a odtokom šírenie a tiež shoter kanál dĺžky s menším gate / zdroj prekrývajú kapacita je možný. Pre podrobnejšie vysvetlenie pozri Razavi ... dúfam, že to pomôže. Fred
 
Ak sa u použitia kovu, brán, môže to urobiť u selfaligned s, d implantát, čo, ak u tým, s, d drivein sa roztaví kovová hradla (gate al), tak u robiť s, d a implantát drivein (anneal) Prvý tej bráne výpovede.
 
Ahoj leohart, vďaka za vysvetlenie, prečo nemôžeme používať kovové pre seba vyrovnanie. Nebol som si istý. rgds Fred
 
Dobrý deň! polysilicon má oveľa vyšší bod topenia v porovnaní s kovmi, ktoré povoliť spätný žíhanie pri vyššej teplote ako kov výpovede. - Al [size = 2] [color = # 999999] Pridané po 3 minútach: [/color] [/size] Zdravím, a ... žíhacie teploty sú zvyčajne vyššie ako bod, kovové meltign takže nemožno anneal mikro obvodu po metal bol uložený. Ü - Al
 
[Quote = fredflinstone] Podrobnejšie vysvetlenie nájdete Razavi ... Fred [/quote] Pozri ktorá kniha? alebo papier?
 
Ahoj Juliane, ja hovoril, odkazovať sa Razavi knihu stránka číslo 613 pre informácie o seba zarovnané MOS strcuture. Ospravedlňujem sa za zámenou. Fred na zdravie
 
Myslím, že je niekde k dispozícii na internete, možno tomto fóre. Skúste hľadať to
 
You must log in or register to reply here.

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top