Polysilicon Gate obrátiť priamo na vrchole aktívne Gate

[Shuichi]

Naozaj potrebujeme pomoc v tejto veci ....

Existuje minimálna vzdialenosť konštrukčné pravidlo pre kontakt polysilikonových brány k bráne priestoru tak, aby kontakt rezu je na vrchole husté FOX miesto priamo nad bránou tenké kysličník.

Dôvodom pre toto pravidlo môže byť vďaka križovatke zlepenie hliníkové šíriť do Silicon / polysilikonový sa v priamom kontakte.To platí pre staršie technológie, ktorým W-sviečky alebo prekážku vrstvy nie sú zatiaľ v prevádzke.

So zavedením W-sviečky a bariérovej vrstvy ako 'vankúše', ktoré bránia priamemu kontaktu hliníka s kremíkom.Existujú nejaké potenciálne problémy spoľahlivosti, keby sme porušili toto pravidlo a mať kontakt rez priamo na vrchole tranzistorových s tenkým brána oxidu pod ním??

 

[kormidlova]

Fabs sú často pýtal na túto otázku.
Pokiaľ je mi známe, žiadny fab dokončil vadu štatistiky a dlhodobú spoľahlivosť štúdie na toto.
Môžete zvážiť, aby sa tieto testy sami, ak vaša spoločnosť má dostatočne využívať zdroje.
Alebo sa snažia presvedčiť vás ďaleko na to, že ste dostatočne veľký vplyv na to.
Od prvý pohľad by to malo fungovať, ale chyby štatistiky a spoľahlivosť je pre mňa neznáma.

 

[Shuichi]

Oceniť yr odpoveď vola!

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_smile.gif" alt="Úsmev" border="0" />Ale ja som od štartu spoločnosti s obmedzenými zdrojmi ....

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_sad.gif" alt="Smutný" border="0" />Dún, že môj šéf nebude, že charitatívne urobiť analýzu spoľahlivosti na to ...
Bol by radšej získanie prostriedkov z kníh alebo čistý ako lacné znamená ....: P

 

[kormidlova]

Máte-li šéf má rád riziko, on a máte dobrú šancu na odmenu.
Poznám ľudí, ktorí dať kontakt na bránu vo svojej testovacej čip a fungovalo to.Robili to v rozpore s pravidlami zlievárne dizajnom.Avšak, nemali test výnos štatistiky alebo dlho-termín spoľahlivosť.

 

[Medv]

Povedal by som, že ste v spustení vás by sa mala zamerať na to, aby to fungovať prvé prejdite k vede.
Zlievarne by to pre vás len v prípade, že by bolo veľké objemy, čo zrejme nebude prípad.
Also - koľko by to ušetriť?Chceli by ste (v prípade, že ste do CMOS) miesto Nand Pmoses právo nex k sebe?Ja teda nie.
Verím, že aj keď by to fungovať, bude vám spôsobí viac problémov ako čokoľvek iného.No knižnice k dispozícii atď
Ale ak by ste radi riziko, a myslím, že likvidácie veľa času na čas alebo s nízkym obsahom je niečo, čo by ste mali mať možnosť žiť s - ísť na to.