kovové alebo Polysilicon Používa sa ako brána?

[Willt]

Ahoj priatelia,

Za starých čias, bol používaný ako kov brány MOS.
Ale teraz sa používa polysilkonový.

Kov má nižší odpor ako polysilkonový.
Aký je dôvod pre použitie polysilkonový teraz?

Myslím, že z niekoľkých dôvodov:
1.Polysilikonový je jednoduchšie držať oxidu kremičitého.
2.Polysilikonový môžu dosiahnuť samostatne-metal, ale vyrovnanie nemôže.
(Metal rozplynie sa, keď je S / D je aditívované prímesou [VYSOKÉ TEPLOTY!]
na základe vlastné-zarovnanie.)

Disadv.použitie polysilikonových ako brána:
1.Vyšší odpor
2.Vyšší strop.

Počul som, že kov bude slúžiť ako brána znova
V blízkej budúcnosti pod-45nm proces.Je to pravda?

Prosím, neváhajte a diskutovať spoločne.

Váš priateľ
Bude

 

[truebs]

Kov bol používaný, ale vzhľadom k rôznym výhodám polysilikonový .. hlavne jednoduchosť zhotovenia a dobrý výkon je polysilikonový ideálnou bránou.

Tiež tam bolo veľa problémov spojených s kovové brány, ako je vysoká netesnosť, electomigration, nečistota, vysoká electricfiedl.odradilo, že použitie kovových ako brána.

Teraz ako 45nm je tiež k dispozícii, sa stále používa nízke rozlíšenie - poly ako brána.Ale jo, niektoré aktivity sa dejú v tomto smere.