A
abhishek_rathod50
Guest
Mám záujem o vytvorenie vhodných VHF box pre appliaction plazmy zvýšenú chemickú naparovanie (PECVD). Rozmery komory je 3 nohy 3 nohy. Napájanie je na 70MHz a maximálny výkon 1.5KWatt. Mám v pláne použiť typ L sieť s vákuovým kondenzátory. Nejaké návrhy na to? Tiež som sa snažil jeden zodpovedajúce pole v rovnakej špecifikácii, a ja som mal spáliť RF. Akékoľvek myšlienky na to?